科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等

技术参数：

控制方式

手动控制/自动控制切换

前级泵接口

KF25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵）

分子泵

FF-100/150 51000转/分

分子泵抽气速率

140L/S

分子泵启动时间

≤2min

空载极限压强

≤1X10-4Pa

真空测量方式

冷阴极标准规管

真空测量范围

1E﹢2到1E-5 Pa

真空测量精度

1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数 重复性：±5%

抽气接口

KF25

阀门类型

KF25手动挡板阀

系统电源

AC220V

系统功率

≤1KW

环境温度

5~32℃

冷却方式

强制风冷却

湿度

≤80%RH

外形尺寸

250 X360 X 300mm （宽-深-高）

重量

25KG

随机配件：KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X3个 kf25-1米不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 冷阴极真空计X1个