净化车间有哪些净化设备
**:无尘净化车间进风系统要安装‚新风过滤箱‚中央净化空调(中央净化空调要分为初效/中效/三个过滤段)末端有送风口。有必要时还装有净化增压箱。
第二:无尘净化车间回风系统要安装‚回风口‚过滤初效器‚中效回风箱。
第三:进入无尘净化车间之前入缓冲区‚缓冲区门安装电子互锁‚更衣处放置洁净储衣柜‚空气 清新机。
第四:人和货物进入无尘净化车间须经过‚风淋室‚货淋室‚传递窗主要传递小物品。
第五:在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台‚层流罩(FFU)‚洁净棚(可移式净化工作棚)‚自净器。测洁净室洁净度用‚激光尘埃粒子计数器。
乱流洁净室的原理和特性
1、定义:乱流洁净室的定义是气流以不均匀速度、不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室.
2、原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。
3、特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)
(1)、自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
(2)、换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
作用
洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,的等级为Class 1,差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
洁净车间及相关受控环境中空气洁净度等级按空气中悬浮粒子浓度来划分,就是以每立方米空气中的允许粒子数来确定其空气洁净度等级,那么如何定义十万级、万级和百级的洁净车间呢?
一、几级洁净车间
指洁净级别,可以理解为无尘室,但是无尘室也是需要换气的,换进去的空气需要经过净化室净化,再送到无尘室。(10万)级要求每小时换气15-19次,完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
二、十万级、万级和百级洁净车间的净化参数
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次;100≥500次.压差:主车间对相邻房间≥5Pa
现今大多数要求的车间使用的是10万级净化车间;而30万级净化沉降菌(cfu/,10万级净化沉降菌(cfu/皿)为10:10万级换气参数为≥15次/。