无尘车间工人在防火墙两端2m范围内穿管、穿管、穿隔热层。根据上述需要,在洁净室工程中,经常采用拍卖保温板和复合硅酸盐保温板(防潮层和外保护材料以及与保温材料相匹配的液体泥浆),而阻燃自熄聚苯乙烯保温板不符合消防要求,限制了其应用。这里重要的是,当输送的空气温度低于环境温度时,由于隔热结构内外壁之间的温差而产生水蒸气的分压差。由于分压差的影响,管外空气中的水蒸气随热流渗入保温材料,导致保温结构内凝结,保温材料的保温性能降低,必须在保温层外设置防潮层。当气温高于环境温度时,保温结构一般不设置防潮层。保温材料采用闭孔结构,防止水汽渗入。如防水层为液体泥浆,复合硅酸盐保温板施工后无接缝。防潮效果很好,但是价格很高。
在整个集成电子无尘车间中,电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进,芯片尺寸越小。然而,电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%~2%,在电子无尘车间中会成为废品,因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。
无尘车间空气净化系统分为水平层流、垂直层流和紊流。气流方式的选择参照常规,洁净度主要由单位时间换气次数决定。因此,在确定净化系统的技术参数之前,必须认真考虑无尘车间的工作性质和生产要求。
为达到洁净水平,无尘车间的设置需要采取综合措施,包括工艺布置、建筑平面、建筑结构、空气净化措施、维护管理等,其中空气净化措施是达到洁净水平的根本保证。