我公司的经销的进口硅材料氧碳含量测试仪器,所测硅料硅棒硅片氧、碳含量自动、快速、准确,可靠性 高,稳定性好,一致性佳,ASTM 线性度对 0.0 % T 的偏离小于 0.07 % T,是全球公认标准的氧碳含量测 试仪器。同时功能强大,应用深度广,还可以进行电池片及半导体进行膜厚分析,BPSG分析,PSG分析,FSG 分析,SiN/SiON分析。 产品特点 ■ 硅中氧碳含量测试分析系统是高端研究型硅料杂质含量仪器,该仪器建立在一个共同的光学和电子平台 上,达到仪器性能和应用技术的水准。 ■ 硅中氧碳含量测试分析系统为完整的数据采集、处理过程提供了功能强大的、与Windows兼容的基础系 统软件。 ■ 基础系统软件包含了广泛的、友好的在线帮助系统,该系统不仅指导如何操作软件,还提供了从基本 原理、光谱解析到实验设计等一系列专家帮助功能。 ■ 杂质分析软件功能强大,不仅可以做到硅料硅棒硅片氧、碳含量自动、快速、准确的测量,还可以进行 电池片及半导体膜厚分析,BPSG分析,PSG分析,FSG分析,SiN/SiON分析 ■ 测量结果稳定性好,一致性佳。热稳定性的整体块状反射镜消除了传统单片反射镜螺丝固定带来的 镜片容易变形、螺丝容易松动、需要人工调整光路的弊端,具有的重复性,甚至是仪器间的一致性。 精密的机械加工确保每次扫描的高度再现,彻底消除仪器给实验结果带来偏差。 ■ 制样简便、智能操作。 ■ 功能强大,还可以进行膜厚分析,BPSG分析,PSG分析,FSG分析,SiN/SiON分析。 ■ 自动识别、自动性能测试、自动参数设定、定位校准等特色提高了应用实验的重复性,完全消 除人为误差。 ■ 智能光学台的所有元件均采用智能化预准直对针定位,“即插即用”设计,分束器、检测器及智能附件 一旦插入系统,智能系统立刻自动识别,自动更新参数,自动优化无需调整。完全抛弃了老式螺钉螺母, 出厂前激光定位的方法,克服了由螺丝弹簧控制镜面角度的不稳定性。 ■ 智能湿度探测减轻了操作人员对仪器维护的工作量,将自动提醒更换干燥剂,解决红外使用过程中的隐患。 ■ 在线智能诊断:连续检测每一个光学元件和电子元件的参数,随时可以检测并预知光谱仪的故障,并提 出解决方案,增强用户的自我维护能力。 ■ 光学台采用美国宇航专利密封胶条的整体密封干燥设计,减少了光路中的密封窗片,提高了光的传输效 率,且防潮效果。 ■ 光学台采用整体铸模形式,加上高精度的“对针定位”固定光学元件,达到了超高精度的重复性,大大 增加了仪器的稳定性。彻底解决了传统光学结构不易维护的问题,未入门用户即可自行安装、更换光学元 件。 ■ 现代的计算机技术同步的的USB 2.0 通讯接口,提高了数据传输速率。 ■ 专利的无缝不锈钢设计的液氮冷却检测器,液氮保持时间长达 18 小时,属业内。 ■ ETC EverGloTM光源,红外光源能量稳定输出,确保光源整个寿命中均可保证性能一致,从而得到 稳定的高质量红外图谱; ■ 可通过“Turbo”模式获得超出常规能量 25%高能量输出,用以满足特殊测试要求。 ■ 电磁悬浮驱动专利干涉仪,成为一代高级研究应用所青睐的干涉仪,分辨率可达 0.09cm-1。 ■ 数字化连续动态调整(D.S.P),速度达每秒 130,000 次, 保证瞬时与长时间检测的超高稳定性,更好 的光谱峰形。 ■ 品种齐全的各类检测器,适用于紫外至远红外的任何光谱范围或实验配置要求,并具有的性能。 ■ 所有的检测器均“即插即用” (Plug and Play),易于更换与使用。 ■ 在样品仓盖开启时,独特的智能吹扫系统将自动进行检测,增加光学台中吹扫气体的流量,在连续测样 的过程中以短的吹扫时间恢复到开仓前的状态,以确保尽可能迅速而地收集数据。 ■ 精密铸造的光学台底座配以少数量的反射镜以及短光程的设计。 ■ 金刚石加工切削整体合金反射镜,光路传输效率更高于一般金属镀层技术的反射镜,保证光学效能 输出。 ■ <span style='color:rgb(110,110,110