产品用途：

本系列产品采用气浮和伺服控制技术，结合本公司自主研发的QMS3D自动测量软件，可实现、准确的大批量工件测量，适用于精密零部件的检测和质量控制。在机械、电子、五金、塑胶等行业中都得到了广泛的应用。

特点：

行程大，测量范围更广；

自主开发QMS3D软件，可满足客户不同测量需求；

具有快速自动对焦、自动寻边，强大的编程和自动测量功能；

采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力；

配置操纵手柄，亦可软件程控；

SPC数据处理分析，大批量治具测量；

X、Y、Z轴伺服控制，定位精度高速度快，运行平稳；

程控恒流驱动式八区表面冷光光源，可适应复杂的工件测量；

花岗石直线度和玻璃平面度好，花岗石导轨无摩擦、不磨损；

可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，快速定位，方便快捷。

技术规格参数：

参数/ 型号

VMS-0810H

VMS-1012H

VMS-1215H

机

台

结

构

玻璃台尺寸(mm)

1208 × 885

1408×1085

1708 × 1285

X、Y轴运动行程(mm)

800×1000

1000×1200

1200×1500

X、Y轴速度(mm/s)

300

Z轴运动行程(mm)

200

外形尺寸(m)

2.17×2.38×1.56

2.37×2.58×1.56

2.57×2.88×1.56

整机重量(kg)

3260

3750

4520

光

学

系

统

光源

表面光源--LED表面环形光源 底光源--LED新型直线光源

光栅尺分辨力

0.5um

X、Y示值误差

(3＋L/200)um

激光平面度测量

重复性3um(选配激光位移器时)